반도체 전공정장비1 반도체주식투자_전공정 장비 반도체 주식투자에 앞선 전공정 부분을 이제 마무리하고자한다. 끝은 없지만 최소한의 수준의 이해를 돕기 위해, 그리고 나의 공부와 복기를 위해 글을 시작하였다. 이 글을 보는 사람들은 모르겠지만 나 자신한테는 확실히 글을 작성해보니 도움이 되는 것 같다. 하지만 이 게시물을 클릭한 이들에게도 도움이 되었으면 한다. 계측장비 웨이퍼 패턴 결함을 검사하는데 필요한 장비이다. 앞선 세정공정 처럼 어느 한 공정에서만 사용되는 것은 아니다. 노광 공정 후에도 식각 공정 후에도 필요시에 시행되는 검사 공정이다. 패턴 결함은 반도체 수율과 직결되는 이슈이다. 수율과 상관관계가 깊으므로 중요한 공정이라 볼 수 있다. 결함이 없는 웨이퍼 이미지와 반복 비교를 통해 결함 여부를 확인하고 검출한다. 계측장비의 종류는 크게 2.. 2023. 11. 10. 이전 1 다음
